Técnica de
espectrometria de massa que é usada para
análise química microscópica. Um feixe de
íons primários com uma
energia de 5-20 quiloeletrovolts (keV) bombardeia um pequeno ponto na superfície da amostra em condições ultra altas de
vácuo. Os
íons secundários positivos e negativos expelidos da superfície são analisados em um espectrômetro de massa em relação a sua proporção de massa e carga. O imageamento digital pode ser gerado a partir dos feixes de
íons secundários e sua intensidade pode ser medida. As imagens iônicas podem ser correlacionadas com as imagens de
microscopia óptica ou outra, fornecendo ferramentas úteis para estudos moleculares e de ações de drogas.